自动分选机是能根据测量结果将被测件分成合格、正超差、负超差或将合格品再分成若干类,以便选择装配的自动化机器
1、分选机的基本组成
分选机主要是由上料台、检测系统和分选系统3个部分组成。其中测量系统为整台设备的核心部分,它又包含了厚度模组、线痕模组、隐形裂纹模组、脏污模组、边缘模组和尺寸、翘曲模组。当硅片从上料台入片经过测量系统时,会被这6个。模组分别检测、对比,是否达到设定的要求,然后根据所测量的数值分选到对应的仓盒里面,最终将硅片分选出不同的等级。
2、分选机的常见故障及解决方法
当设备出现故障时,我们可以在“Errors”窗口中查看当前的错误信息,可以在“Protocol”窗口中查看所有被确认以及未被确认的错误信息,以上这些信息都按时间先后顺序进行排列。
1) 厚度部分
值(TTV)偏高:硅片碎裂残留在厚度传感器上;电气系统缺陷;布线缺陷。值(TTV)偏低:外侧传感器位置错误。TTV值显示为0:供电电源被关闭。
2) 线痕部分
无法在软件窗口中观察到白色激光图像:如果正在检修设备,请确认是否已经关闭电源,例如按下了红色的急停按钮;检查软件设置;控制相机间宽度的马达运动到了错误的位置;检查激光器是否正常工作;检查激光器供电状态;检查相机功能是否正常;检查连接相机与电脑的数据线是否损坏;检查电脑内部火线适配器是否正常工作。
硅片边缘不可见:检查传送系统的速度设置;线痕测量值偏高;相机镜头未对焦准确;激光在硅片上的测量位置太靠近边缘。
3) 脏污部分
无法在软件中观察到图像:检查光源。
始终较差的质量:光源亮度偏暗;错误的相机设置(如对焦);错误的硅片位置;硅片碎落在下方相机镜头上。
4) 翘曲/几何尺寸部分
无法在软件中观察到图像:检查LED光源是否工作正常。
始终较差的质量:光源亮度太暗;错误的相机设置(如对焦);错误的硅片位置。
自动分选机的保养方案
一、润滑、坚固(适用于专业维修人员);
1、每月至少检查一次非免维护轴承的运行状态,并用相应标号的润滑油或润滑脂进行润滑或更替;
2、每月至少检查一次机器各连接件之间的坚固状态; 具体参照点检表。
二、清洁
1、每月至少彻底清冼一次输送带、链板、机身;
2、每月至少清洁一次各传动部件间的油污、杂质;
三、调整、更换
1、每月需要检查各可调节、活动传动部件的行程及间隙是否符合标准、必要时作出调整;
2、按点检表时间安排:月份、季度、年份需要更换的损耗件进行更换;
四、防护
1、设备的日常使用严格遵循安全使用规程;
2、完善的维保人员培训机制;
3、机器长期闲置的应该进行清冼并做出设备常规保养后用合适的包装物料封存。